熱式氣體質量流量計是利用加熱時液體溫度上升至某一值所需的能量與液體質量之間的關系來測量液體或氣體質量的一種流量儀表。一般用來測量煤氣等氣體質量的流量。它具有壓損小、流量范圍度大、高精度、高重復性、高可靠性、體積小、易維護不易損壞等特點。

早期的熱式氣體質量流量計直接將加熱線圈和測溫元件放入液體中與液體接觸，是一種接觸式流量計，由于現場環境中普遍存在腐蝕、磨損及防爆問題，使它在工業應用中受到很大限制。到 20 世紀 50 年代，人們又提出了不接觸液體的邊界層流量計，克服了接觸式流量計的缺點，但測量結果受介質參數(如熱導率、比率、粘度)以及環境的震動等因素的影響。

到 20 世紀 70 年代，基于測量液體溫度分布的熱分布型 TMF，優點很多，但只適用于小管徑測量。此后，人們又設計了一種插入式熱式氣體質量流量計，它在國內得到了迅猛的發展，可以用來測量大管徑的氣體流量。